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专利号:200810091376
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电路结构及其制造方法

本发明提供一种电路结构及其制造方法,该电路结构包括具有PFET和NFET器件的FET器件结构,PFET和NFET器件具有高k电介质栅极绝缘体和含金属的栅极。NFET和PFET器件两者中的栅极的金属层由单个公共金属层制造。因为两类器件的栅极使用单个金属层,所以NFET和PFET的端子电极能直接物理接触地彼此对接。该FET器件结构还包括受应力的器件沟道、以及具有n↑[+]Si和p↑[+]Si值的有效功函数的栅极。

电路结构及其制造方法

一种电路结构,包括:    至少一个NFET和至少一个PFET;    其中所述NFET包括:    位于单晶硅基材料中的n沟道;    包括栅极金属的第一层和帽层的第一栅堆叠;    包括第一高k电介质的第一栅极绝缘体,其中所述第一高k电介质直接接触所述帽层;   。危疲牛缘缂,包括第一电极,其邻接所述n沟道,且能与所述n沟道电连续;    其中所述PFET包括:    位于所述单晶硅基材料中的p沟道;    包括所述栅极金属的第二层的第二栅堆叠;    包括第二高k电介质的第二栅极绝缘体,其中所述第二高k电介质与所述栅极金属的所述第二层直接接触;   。校疲牛缘缂,包括第二电极,其邻接所述p沟道,且能与所述p沟道电连续,且    其中所述第一电极和所述第二电极直接物理接触地彼此对接。
 


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专利号: 200810091376
申请日: 2008年5月8日
公开/公告日: 2008年11月12日
授权公告日:
申请人/专利权人: 国际商业机器公司
国家/省市: 美国(US)
邮编:
发明/设计人: 埃杜亚德·A·卡蒂埃、瓦姆西·帕鲁查里、维杰伊·纳拉亚南、巴里·P·林德、张郢、马克·T·罗布森、米歇尔·L·斯蒂恩、布鲁斯·B·多丽丝
代理人: 张波
专利代理机构: 柳沈知识产权律师事务所(11105)
专利代理机构地址: 北京市朝阳区北辰东路8号汇宾大厦A0601(100101)
专利类型: 发明
公开号: 101304031
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 美国2007年5月8日11/745,994
审批历史:
附图数: 6
页数: 14
权利要求项数: 3
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